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產(chǎn)品列表 / products

日本ULVAC CFB-1600復(fù)合分子泵技術(shù)資料

更新時間:2016-01-05 點擊量:1019

一、產(chǎn)品簡介

        復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵,是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成,它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高,牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點,擴展了分子泵的應(yīng)用范圍,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、航天航空、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。

 

二、產(chǎn)品特點

        復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng);由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

 

三、主要性能指標

 

型號

CFB-1600

訂貨號

3155

3156

進氣口法蘭

LF250

CF250

排氣口法蘭

KF50

抽氣速率

L/s

1600

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機轉(zhuǎn)速

rpm

21000

啟動時間

min

<6

振動值

μm

≤0.15

前極泵

L/s

15

冷卻水溫度

≤20

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

加熱器功率

W

<700

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~39

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

 

CFB系列復(fù)合分子泵安裝尺寸表

 

型號規(guī)格

CFB-1600

進氣口法蘭

LF250

CF250

D1

Ф290

Ф305

D2

Ф296

Ф296

D3

□183.8

□183.8

L1

161

161

L2

166

166

H1

394

394

H2

110

110

H3

142.5

142.5

H4

104

104

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8

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